Fertigungstechnologieentwicklung für Giant-magnetoresistive-(GMR-)Sensoren zur Magnetfeldmessung

Der von Peter Grünberg im Forschungszentrum Jülich 1988 entdeckte Giant Magnetoresistive (GMR) Effekt tritt in Nanoschichtsystemen aus elektrisch leitenden magnetischen und nicht magnetischen Einzelschichten auf, deren Dicke weit unter der freien Weglänge der Elektronen liegt. Er beruht auf spinabhängigen Streueffekten und gestattet die Messung magnetischer Felder. Solch ein Sensor wird als Spin Valve bezeichnet, für seinen Aufbau werden antiferromagnetische, ferromagnetiosche und diamagnetische Leiter benötigt. Diese Arbeit liefert einen Beitrag zur Erforschung der Fertigungstechnologie für Spin Valve Sensoren. Untersucht werden insbesondere Schichtsysteme, die eine Austauschkopplung zwischen einer antiferromagnetischen und einer ferromagnetischen Nanoschicht aufweisen. Die Erzeugung einer solchen Struktur ist Voraussetzung für den Aufbau eines GMR-Schichtsystems, sowie eines kompletten Spin Valve Sensors.