Knihobot
Kniha momentálne nie je na sklade

Pyrometrische Interferometrie

Autori

Viac o knihe

In dieser Arbeit werden mit der Pyrometrischen Interferometrie (PI) und der Laser-unterstützten Pyrometrischen Interferometrie (LSPI) zwei neue in situ Meßverfahren für Dünnfilmtechnologien vorgestellt. Sie eignen sich zur gleichzeitigen Echtzeitbestimmung von Schichtdicke und Substrattemperatur, wobei das Auflösungsvermögen für typische Anwendungen im allgemeinen besser als 1 nm bzw. 0,10 Grad C ist. PI und LSPI sind damit die ersten Meßmethoden, mit denen eine in situ Bestimmung der Temperatur während eines Beschichtungsprozesses in Echtzeit möglich ist, ohne dabei spezielle Kenntnisse über die Temperaturabhängigkeit der optischen Parameter von Substrat oder Schicht vorauszusetzen.

Parametre

ISBN
9783816744726
Vydavateľstvo
FhG-IIS

Kategórie

Variant knihy

1995

Nákup knihy

Kniha momentálne nie je na sklade.