Grundlegende Untersuchungen zum Prozessverhalten von Silizium als Werkzeugwerkstoff für das Mikroscherschneiden metallischer Folien

Der Trend zur weiteren Miniaturisierung metallischer Bauteile stellt hohe Ansprüche an die Werkzeuge und deren Fertigung. Da etablierte Herstellmethoden hier an ihre technischen und wirtschaftlichen Grenzen stoßen, wird im Rahmen dieser Arbeit ein mikrosystemtechnischer Ansatz gewählt, bei dem Mikroschneidstempel mit Breiten unter 100 µm ätztechnisch gefertigt wurden. Auf Basis experimenteller und simulativer Untersuchungen werden die Grundlagen zum Einsatzverhalten von Siliziumwerkzeugen beim Mikroscherschneiden metallischer Folien erläutert.