Grundlegende Untersuchungen zu vertikalen Positioniersystemen für Nanopräzisionsmaschinen

Aktuelle Forschung zur Mess- und Positioniertechnik beschäftigt sich mit der Erschließung des nm-Bereichs zu dessen technischer Nutzbarmachung. Dabei besteht die funktionelle Anforderung makroskopische Objekte mit diesem erhöhten Anspruch an Genauigkeit zielgerichtet zu bewegen und zu positionieren. Dafür müssen geeignete konstruktive Lösungen gefunden werden. Den Ausgangspunkt für diese Entwicklung stellen die Grundlagen der Geräte-/ Feinwerktechnik dar. Hier sind die Zusammenhänge von Struktur und Funktion einer Konstruktion bis zur Anwendung in den μm- Bereich bekannt und in Konstruktionsprinzipen und Konstruktionsrichtlinien dokumentiert. Inwieweit gelten diese scheinbaren Gesetzmäßigkeiten jedoch in der neuen angestrebten Größenordnung und wie müssen ggf. allgemeine Vorstellungen von Funktion und Struktur überdacht werden? Welche konstruktiven Lösungsansätze erscheinen für die Aufgabe geeignet? Im vorliegenden Buch werden hierzu am Beginn einer neuen gerätetechnischen Entwicklungsrichtung am Beispiel vertikaler Nanopositionierung einige grundsätzliche Betrachtungen angestellt.