Drei Metalle, eine Quelle: Das Single-Source CVD-Verfahren
Ein neuer Ansatz zur Erzeugung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten
Autori
Viac o knihe
Die Arbeit behandelt die innovative Erzeugung von piezokeramischen Bleizirkonattitanat (PZT)-Schichten mittels des CVD-Verfahrens. Durch die Synthese von bi- und trimetallischen Single-Source-Precursoren gelang es, PZT-Schichten mit nur einem Precursor abzuscheiden. Diese wurden bei etwa 400 °C auf Siliziumsubstraten aufgebracht und anschließend thermisch in die Perowskitphase überführt. Durch geeignete Vorbehandlungen der Substrate konnten thermische Spannungen minimiert werden. Die strukturierten Schichten wurden elektrisch charakterisiert und in akustischen Linsen eingesetzt, wobei bis zu 64 Sensorvorstufen pro Abscheidung erzeugt wurden.
Nákup knihy
Drei Metalle, eine Quelle: Das Single-Source CVD-Verfahren, Michael Bender
- Jazyk
- Rok vydania
- 2015
Doručenie
Platobné metódy
2021 2022 2023
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- Titul
- Drei Metalle, eine Quelle: Das Single-Source CVD-Verfahren
- Podtitul
- Ein neuer Ansatz zur Erzeugung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten
- Jazyk
- nemecky
- Autori
- Michael Bender
- Vydavateľ
- Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG
- Rok vydania
- 2015
- Väzba
- mäkká
- Počet strán
- 232
- ISBN13
- 9783838119298
- Kategórie
- Chémia
- Anotácia
- Die Arbeit behandelt die innovative Erzeugung von piezokeramischen Bleizirkonattitanat (PZT)-Schichten mittels des CVD-Verfahrens. Durch die Synthese von bi- und trimetallischen Single-Source-Precursoren gelang es, PZT-Schichten mit nur einem Precursor abzuscheiden. Diese wurden bei etwa 400 °C auf Siliziumsubstraten aufgebracht und anschließend thermisch in die Perowskitphase überführt. Durch geeignete Vorbehandlungen der Substrate konnten thermische Spannungen minimiert werden. Die strukturierten Schichten wurden elektrisch charakterisiert und in akustischen Linsen eingesetzt, wobei bis zu 64 Sensorvorstufen pro Abscheidung erzeugt wurden.