Dielektrisch behinderte Entladungen

Die Atmosphärendruck-Plasmaquellen sind von zunehmender Bedeutung für eine Vielfalt industrieller Anwendungen, da diese Technologie nicht nur mit einer Kostenreduktion verbunden ist, sondern auch deshalb, da die Integration in bestehende Fertigungseinrichtungen viel einfacher im Vergleich zur Vakuumtechnologie ist. Ziel dieser Arbeit ist die Charakterisierung und Optimierung von auf Barrierenentladungen beruhenden planaren Plasmaquellen. Diese Quellen können modular aufgebaut werden und sind daher im Prinzip für eine Behandlung von großflächigen planaren Oberflächen bei Atmosphärendruck geeignet. Einige Anwendungsbeispiele solcher Plasmen für die Behandlung verschiedener Materialien (Metalloberfläche, Kunststoff, Naturgewebe) werden in der vorliegenden Arbeit erläutert. Das Buch richtet sich an Diplomanden, Doktoranden und Wissenschaftler im Bereich der Plasmaphysik bzw. an Techniker und Ingenieure in Unternehmen, die im Bereich der Plasmatechnik bei Atmosphärendruck tätig sind.