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Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten

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Computersimulation zur Anwendbarkeit des Spiegelfacettenmodells bei der Auswertung von Defektstreulichtmessungen an hillockbehafteten Aluminium-Metallisierungsschichten, Thomas Fröhlich

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1994
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