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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
Nákup knihy
Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren, Thomas Grund
- Jazyk
- Rok vydania
- 2010
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- (mäkká)
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Doručenie
Platobné metódy
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- Titul
- Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
- Jazyk
- nemecky
- Autori
- Thomas Grund
- Vydavateľ
- KIT Scientific Publ.
- Rok vydania
- 2010
- Väzba
- mäkká
- ISBN10
- 3866444966
- ISBN13
- 9783866444966
- Séria
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
- Kategórie
- Skriptá a vysokoškolské učebnice
- Anotácia
- Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.