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Entwicklung eines hybriden Messsystems zur In-Situ-Form- und Rauheitsmessung mikrostrukturierter, optischer Funktionsflächen

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Entwicklung eines hybriden Messsystems zur In-Situ-Form- und Rauheitsmessung mikrostrukturierter, optischer Funktionsflächen, Karsten Schneefuß

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2005
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