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Elektronenstrahllithographie und Nanostrukturübertragung zur Herstellung von hochauflösenden diffraktiven Röntgenoptiken aus Nickel

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Elektronenstrahllithographie und Nanostrukturübertragung zur Herstellung von hochauflösenden diffraktiven Röntgenoptiken aus Nickel, Markus Peuker

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2000
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