Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.1.3 Literatur.2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases.2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen.2.3 Die Gesetze des idealen Gases.2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand.2.5 Transportvorgänge.2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation.2.7 Gasdynamik.2.8 Literatur.3 Sorption und Desorption.3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.3.3 Pratische Hinweise zu Adsorption und Desorption.3.4 Absorption, Okklusion.3.5 Ausgasung.3.6 Literatur.4 Strömungsvorgänge.4.1 Übersicht. Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereiche.4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen.4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand.4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe.4.5 Strömung im Grobvakuumbereich.4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.4.7 Strömung im Feinvakuum.4.8 Literatur.5 Verdrängerpumpen.5.1 Übersicht.5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen.5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen).5.5 Literatur.6 Treibmittelpumpen.6.1 Einleitung, Übersicht.6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen.6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.6.4 Diffusionspumpen.6.5 Diffusionspujnpen — Dampfstrahlpumpen.6.6 Literatur.7 Molekularpumpen.7.1 Einleitung.7.2 Molekularpumpen.7.3 Turbomolekularpumpen.7.4 Theorie der einstufigen Pumpe.7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.7.6 Betriebshinweise.7.7 Anwendungen.7.8 Literatur.8 Sorptionspumpen.8.1 Adsorptionspumpen.8.2 Gasaufzehrungdurch Getter.8.3 Ionenzerstäuberpumpen.8.4 Literatur.9 Kondensatoren.9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen.9.2 Bauarten von Kondensatoren.9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.9.4 Berechnung von Kondensator-Pumpen-Kombinationen.9.5 Literatur.10 Kryotechnik und Kryopumpen.10.1 Einleitung.10.2 Kühlverfahren.10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen.10.4 Temperaturmessung.10.5 Kryostatentechnik.10.6 Kryopumpen.10.7 Literatur.11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte.11.1 Druck- und Teilchenanzahldichte; Übersicht.11.2 Mechanische Vakuummeter.11.3 Flüssigkeitsmanometer.11.4 Wärmeleitungsvakuummeter.11.5 Ionisationsvakuummeter.11.6 Partialdruckmeßgeräte.11.7 Lecksuchgeräte.11.8 Kalibrieren von Vakuummetern.11.9 Literatur.12 Lecksuchtechnik.12.1 Überblick.12.2 Überdruckverfahren.12.3 Lecksuchverfahren bei Vakuum.12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte.12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche.12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung.12.7 Literatur.13 Werkstoffe.13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung.13.2 Die Werkstoffe im einzelnen.13.3 Gasdurchlässigkeit.13.4 Gasabgabe.13.5 Literatur.14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen.14.1 Nichtlösbare Verbindungen.14.2 Lösbare Verbindungen.14.3 (Vakuum-)Behälter.14.4 Durchführungen.14.5 Flexible Verbindungsstücke.14.6 Absperrorgane (Ventile).14.7 Literatur.15 Arbeitstechnik in den einzelnen Druckbereichen.15.1 Allgemeine Hinweise.15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum (1013 l mbar).15.3 Arbeitstechnik im Feinvakuum (1 10?3mbar).15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum (10?3 10?7mbar).15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum (p < 10?7mbar).15.6 Literatur.16 Anhang.16. A Tabellen.16. B Diagramme.16. C Erläuterung einiger häufig verwendeter Abkürzungen.16. D Größen und Einheiten.16. E Formelzeichen (Symbole) häufiger verwendeter physikalischer Größen und deren SI-Einheiten.Sachwortverzeichnis.